九十一、见招拆招（2/3）

进来之后就看到了一台机器正在运行，他们的正在进行三十二纳米光刻实验。

徐光亮上前了解一番，这才知道他们的三十二纳米光刻实验已经接近100%的成功了——这就是这种光刻机的好处，步骤简化，无需其他前置辅助，就能进行光刻，不会出现因为其他步骤失误而造成芯片不合格。

旁边还有一台，这一台是22纳米光刻机，现在的成功率在60%左右，因为有些地方仍然不平稳，所以成功率不算太高，他们正在通过调整程序以及零件的办法增加精准度。

现在伺服电机能够转动的最小精准角度为10度，这代表着如果想要进行纳米级移动需要高精准度的减速机，为了能够达到这个目标，这台机器上加装了大量的减速机，并且为了能够达到目的，还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转，这才能精准的进行光刻。

徐光亮看了一会，找到负责人问：“现在什么情况？22纳米光刻机设什么时候能够成功？十四纳米呢？”

负责人摇摇头说：“现在这个设计很难达到14纳米精度，不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法。”

他一听非常有兴趣问：“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度？”

“集成光刻微动机电技术！”负责人说。

“是这个？”徐光亮当然知道这个技术，说起来也是因为光子核心知道的这个东西，因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案。但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案，所以没有允许，因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术，毕竟它的响应速度制约了光子核心运算速度。

但是现在不同，这个并不是光子核心，如果能够用这套东西解决精度问题，那也是不错的方案。

负责人喋喋不休的给徐光亮科普这个东西，徐光亮摆了摆手说：“我知道这个东西，那么你们做过实验吗？”