第九十九章 华芯国际（求订阅和票票）（2/4）

柯蓝脑海里的念头一转，立即就抛开了，回答道：“国产材料测试这么大的事情，当然值得我过来看现场。”

孟松却道：“我看柯总是醉温之意不在酒，真正目的是来跟催你们那双芯片叠加的研发进度吧？”

柯蓝立即就问道：“那我们的双芯片叠加研发进度到哪了？”

孟松一怔，好家伙，还是这么直接，他咳嗽了两声后说道：“还是光刻胶材料商有点麻烦，我们目前所用的光刻胶以及配套工艺，还达不到贵司双叠加芯片的要求，电路在刻印上去后，在清洗的过程中容易出现电路坍塌现象。”

听着这话，柯蓝顿时陷入了沉思，嘴上下意识的说了句：“还是光刻机的问题吗？”

“有EUV光刻机当然好，问题应该不是很大。”

孟松摇了摇头，解释道：“现在我们最先进的光刻机用的是深紫外光源，Arf线光刻胶就能够满足制程需要，但现阶段我们用的Arf线光刻胶是湿法工艺，做单芯片问题不大，但做双叠加芯片就容易出现电路坍塌的问题，这一部分我们还在想办法攻克，或是寻找开发干式光刻工艺。”

柯蓝深吸了一口气，没有说话了。

而两人在这边说着话的时候，线体上已经有条不紊的开始了华科新材的新Arf线光刻胶的涂布工序，开始进入了光刻环节。

几人观看了一阵，见工序正常进行，除了必要的技术人员跟进执行以及华科新材的人全程跟进之外，大部分人就结束了看现场，走出了车间，在外面会议室一边工作一边等待结果。

一天很快就过去了。

晚上，加班加点等待的众人正祈祷着一切顺利之时，一个坏消息从车间传了出来。

“各位领导，电路图案清晰度不够！分辨率不够！”

华芯国际的技术人员介绍了情况，说了自己的判断结果，然后问道：“后面的测试还要继续进行吗？”

这时，从车间走出来的华科新材一行人紧随其后走进了会议室，个个脸上都明显的流露出失落、沮丧的神情。

作为专业人士的他们，知道了这个结果后，也知道了后面的测试都不用进行了。

果然，他们很快就听到华芯国际技术老大孟松果断的否定：“不用了，清晰度和分辨率都不够，生产出来的晶圆都是不达标的。”

“好的！”

见老大发话了，这名技术人员立即应了一声，然后就下去了。

会议室内，三方人员互相看了看，在经过了短暂的沉默后，华科新材的老板强打精神笑道：“感谢孟总和余总、还有柯总的大力支持，这次的失败是我们材料性能不过关，我们回去深入分析原因，制定改善措施，争取最快速度制作改善品进行下一次的测试。”

中正公司的人都没吭声。华芯国际技术老大孟松发话道：“清晰度和分辨率，是贵司光刻胶存在对深紫外光源的过量散射和衍射，这一部分应当给予足够的重视和研究。”

“是的，我们会想办法解决这个问题。”华科新材老板立即表态道。

这时，一旁的余龙光忽然说道：“林总，这个问题我记得飞扬新材料的周总讲过，现在看，似乎是他当时就看出了点苗头。”

“这……”

华科新材研发老大林立强被余龙光这话一说，顿时就有些尴尬，甚至下不来台。