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第九十九章 华芯国际(求订阅和票票)(2/4)

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柯蓝脑海里的念头一转,立即就抛开了,回答道:“国产材料测试这么大的事情,当然值得我过来看现场。”

孟松却道:“我看柯总是醉温之意不在酒,真正目的是来跟催你们那双芯片叠加的研发进度吧?”

柯蓝立即就问道:“那我们的双芯片叠加研发进度到哪了?”

孟松一怔,好家伙,还是这么直接,他咳嗽了两声后说道:“还是光刻胶材料商有点麻烦,我们目前所用的光刻胶以及配套工艺,还达不到贵司双叠加芯片的要求,电路在刻印上去后,在清洗的过程中容易出现电路坍塌现象。”

听着这话,柯蓝顿时陷入了沉思,嘴上下意识的说了句:“还是光刻机的问题吗?”

“有EUV光刻机当然好,问题应该不是很大。”

孟松摇了摇头,解释道:“现在我们最先进的光刻机用的是深紫外光源,Arf线光刻胶就能够满足制程需要,但现阶段我们用的Arf线光刻胶是湿法工艺,做单芯片问题不大,但做双叠加芯片就容易出现电路坍塌的问题,这一部分我们还在想办法攻克,或是寻找开发干式光刻工艺。”

柯蓝深吸了一口气,没有说话了。

而两人在这边说着话的时候,线体上已经有条不紊的开始了华科新材的新Arf线光刻胶的涂布工序,开始进入了光刻环节。

几人观看了一阵,见工序正常进行,除了必要的技术人员跟进执行以及华科新材的人全程跟进之外,大部分人就结束了看现场,走出了车间,在外面会议室一边工作一边等待结果。

一天很快就过去了。

晚上,加班加点等待的众人正祈祷着一切顺利之时,一个坏消息从车间传了出来。

“各位领导,电路图案清晰度不够!分辨率不够!”

华芯国际的技术人员介绍了情况,说了自己的判断结果,然后问道:“后面的测试还要继续进行吗?”

这时,从车间走出来的华科新材一行人紧随其后走进了会议室,个个脸上都明显的流露出失落、沮丧的神情。

作为专业人士的他们,知道了这个结果后,也知道了后面的测试都不用进行了。

果然,他们很快就听到华芯国际技术老大孟松果断的否定:“不用了,清晰度和分辨率都不够,生产出来的晶圆都是不达标的。”

“好的!”

见老大发话了,这名技术人员立即应了一声,然后就下去了。

会议室内,三方人员互相看了看,在经过了短暂的沉默后,华科新材的老板强打精神笑道:“感谢孟总和余总、还有柯总的大力支持,这次的失败是我们材料性能不过关,我们回去深入分析原因,制定改善措施,争取最快速度制作改善品进行下一次的测试。”

中正公司的人都没吭声。华芯国际技术老大孟松发话道:“清晰度和分辨率,是贵司光刻胶存在对深紫外光源的过量散射和衍射,这一部分应当给予足够的重视和研究。”

“是的,我们会想办法解决这个问题。”华科新材老板立即表态道。

这时,一旁的余龙光忽然说道:“林总,这个问题我记得飞扬新材料的周总讲过,现在看,似乎是他当时就看出了点苗头。”

“这……”

华科新材研发老大林立强被余龙光这话一说,顿时就有些尴尬,甚至下不来台。

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